臺式LIBS激光誘導擊穿光譜儀的技術參數如下： 元素測量范圍：原子序數Z>=1 (包括C, H, O等有機元素，以及N, Li, Be, B等輕元素，以及幾乎所有金屬、非金屬元素)
濃度范圍：10ppm至%級別（取決于元素及儀器配置）
分析時間：一般20s左右
樣品形態：固體或粉末（粉末需要壓片后測量）。直接測量，無需特別的樣品制備
樣品放置及定位：XYZ三軸可自由定位樣品臺，并可以以微米為單位**位置定位
樣品成像：雙鏡頭配置。廣角鏡頭用于大視野觀察，高倍放大鏡頭用于微觀**定位
*低樣品質量：~100pg至10 μg（取決于樣品）
*大樣品尺寸：約12.7cm x 22.8cm x 12.7cm
分析光斑尺寸：光斑大小可調。*小：<10μm（取決于激光器），*大：500μm
分析深度：~1 - 100μm，取決于材料材質及激光器能量設置
激光能量計量：0~400mJ/脈沖+/-5%，可調
激光器：Nd:YAG，1064nm波長，200mJ/脈沖，266nm波長，50mJ/脈沖
光譜探測器：4通道或7通道寬頻光譜儀（波長λ = 190 - 950），Echelle中階梯iCCD高分辨率光譜儀（波長λ = 200 - 900）。
所需氣體：分析C, N, H, O等有機元素時需要少量的氬氣或氦氣作為保護氣
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